印刷用語集
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フォトリソグラフィ
ふぉとりそぐらふぃ / photolithography
光とフォトレジストをもちいた，IC・LSI（集積回路），プリント配線板，カラーフィルタなどの微細加工製品を製造する技術。フォトレジストへのパターン露光には，紫外線・遠紫外線などが用いられる。