フォトエッチング

ふぉとえっちんぐ / photoetching

写真製版の応用で，電子部品の微細加工に用いられる技術。加工すべき金属の表面に感光性樹脂を塗布し，原板よりパターンを焼き付け，現像したのち塩化第二鉄等の薬品で金属の露出部分を腐食除去して加工する方法である。通常は金属の両面に感光性樹脂を塗布し，表裏のパターンをそれぞれ位置合せして焼き付け，両側から腐食して孔を形成する。プレス打抜き加工に比べ，高価な金型を必要とせず，材料に塑性変形を与えず，複雑な形状や微細加工ができる特徴がある。