パターン欠陥を検出する装置の総称。フォトマスクなどに対するピンホール検査機,隣接するパターン同士や,正常なパターンを比較する検査機,設計データと対応させる欠陥検査装置,微小寸法検査機などがある。印刷欠陥を検査する装置としては,インライン型の自動検査装置があり,良品と思われる印刷物の画像を基準値としてあらかじめ取り込んでおき,以後流れてくる印刷物と比較し,その差を欠陥として検知するという,いわゆるパターンマッチング方式が主流である。