印刷用語集
一般社団法人 日本印刷産業連合会
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共通 > 周辺技術 > 精密加工
フォトリソグラフィ
ふぉとりそぐらふぃ / photolithography
光と
フォトレジスト
をもちいた，IC・LSI（集積回路），
プリント配線
板，カラーフィルタなどの微細加工製品を製造する技術。フォトレジストへのパターン
露光
には，紫外線・遠紫外線などが用いられる。
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